微細組織観察装置
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透過型電子顕微鏡 JEM-2010 透過型電子顕微鏡 JEM-2100（水戸キャンパス機器分析センター） |
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走査型電子顕微鏡 SU-5000（東海キャンパス） 電子線後方散乱回折装置 |
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特に精細な観察が必要な場合は、世界最大の規模を誇る東京大学微細構造解析プラットフォーム、NIMSの電子顕微鏡解析ステーションの各種装置を利用して研究を行っています。 |
接合装置
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ウェッジボンディング装置 （超音波工業株式会社製） ロータリーヘッド型 周波数 110KHz 加圧力 800gf |
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超音波接合装置 ウェッジリード型 周波数 20.5KHz 出力 2500W 加圧力 100psi |
薄膜試料加工装置
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イオン研磨システム TEM試料作成用精密イオン研磨装置 Gatan Model 691 フラットミリング装置 Hitachi IM3000 |
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精密試料切断装置、ディンプラー、回転研磨装置、平面研磨装置、ホットプレートなど 透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡観察用試料加工装置群 |